薄化检测系统和薄化检测方法

Abstract

本申请提出了一种薄化检测系统,包括:电流施加设备,其配置为向安装在作为监测对象的金属装置上的电极施加交流电流;磁场测量设备,其包括被配置为测量金属装置的表面侧的磁场分布的磁传感器阵列;以及测量管理设备,其配置为基于磁场分布差来估计金属装置的薄化分布,所述磁场分布差是在金属装置中还没有发生薄化的情况下获得的参考磁场分布与作为实际测量结果的测量磁场分布之间的差。测量管理设备根据磁场分布差计算金属装置的虚拟电流分布,并且基于由虚拟电流分布表示的虚拟涡电流来估计金属装置的薄化分布。

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