一种基于叉指电极的紫外探测器阵列结构

  • Inventors:
  • Assignees: 北京邮电大学
  • Publication Date: November 17, 2017
  • Publication Number: CN-107359170-A

Abstract

本发明公开了一种基于叉指电极的紫外探测器阵列结构,涉及光电子技术领域。所述的探测器阵列结构包括基底、导线和叉指电极元件;导线包括行导线和列导线,所有的列导线在基底表面等间距排布,所有的行导线垂直于列导线等间距排布,行导线与列导线的交叉部分绝缘;行导线和列导线分割的空间内布置叉指电极元件;叉指电极元件两端分别连接在行导线和列导线上。本发明实现了任意尺寸、大小的阵列,工艺可控性强,成本低操作步骤简单,可大面积制备、重复性好、开发周期短,还能利用后续电路处理动态控制任意位置单元的工作状态,具有广阔的应用前景。

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